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具有更高的羽流稳定性和加热效率的微波等离子体喷嘴

摘要

披露了用于产生微波等离子体的系统和方法。本发明提供了微波等离子体喷嘴(26),它包括气流管(40)和棒状导体(34),该棒状导体设置在气流管(40)中并具有位于气流管(40)的出口附近的尖端(33)。棒状导体(34)的一部分(35)延伸至微波空腔(34)中以接收在空腔(24)中穿过的微波。所接收到的这些微波聚集在尖端(33)处,将气体加热成等离子体。微波等离子体喷嘴(26)还包括位于棒状导体(34)与气流管(40)之间的涡流引导件(36),用于使流经气流管(40)的气体具有螺旋形流动方向。微波等离子体喷嘴(26)还包括屏蔽机构(108),用于降低穿过气流管(40)时的微波能量损失。

著录项

  • 公开/公告号CN101002508B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2010-11-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN200580022852.X

  • 发明设计人 李相勋;金重秀;

    申请日2005-07-07

  • 分类号

  • 代理机构北京信慧永光知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人武玉琴

  • 地址 美国加利福尼亚州

  • 入库时间 2022-08-23 09:05:41

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2013-11-06

    专利权的转移 IPC(主分类):H05H 1/46 变更前: 变更后: 登记生效日:20131008 申请日:20050707

    专利申请权、专利权的转移

  • 2010-11-10

    授权

    授权

  • 2010-10-06

    专利申请权的转移 IPC(主分类):H05H 1/46 变更前: 变更后: 变更前: 变更后: 登记生效日:20100826 申请日:20050707

    专利申请权、专利权的转移

  • 2007-09-12

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2007-07-18

    公开

    公开

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