适于大面积衬底的电容性耦合RF等离子体反应器的阻抗匹配

摘要

提供了一种用于将半导电层沉积到非常大的玻璃区域上的RF等离子体反应器(40)。该RF等离子体反应器包括真空室(18)、反应器室(24)、RF电源(12)、匹配网络(14)、位于真空室内部的第一(22)和第二金属板(20)以及被限定在第一和第二金属板之间的等离子体放电区(30)。该RF等离子体反应器进一步包括馈送线(26)和阻抗变换电路(42)，其两者都电连接到第一金属板。该阻抗变换电路进一步包括变换反应器的阻抗的阻塞可调电容器(Car)。