用于互连的碳纳米管-焊料复合结构、该结构的制作过程、包含该结构的封装件以及包含该结构的系统

摘要

碳纳米管(CNT)阵列在衬底上图案化。衬底可以是微电子裸片、倒扣片的插入类型结构、安装基板或底板。通过在衬底上使用经图案化的金属籽晶层，使CNT阵列图案化，通过化学汽相淀积来形成CNT阵列。还可通过在所述衬底上用图案化掩模来对将图案化的CNT阵列进行图案化，通过生长来形成CNT阵列。还描述了其中用CNT阵列从裸片传导热的计算系统。