一种静电驱动的F-P腔MEMS波长可调滤波器

摘要

本发明公开了一种静电驱动的F-P腔MEMS波长可调滤波器，包含一个F-P腔，其特征在于：在F-P腔的四周连有4个静电驱动器，4个静电驱动器的上极板分别通过4根连接杆与F-P腔的前腔面相连，4个静电驱动器的下极板与F-P腔的后腔面固定在同一平面上；本发明的F-P腔静电驱动MEMS波长可调滤波器，其前腔面能够在静电驱动器的带动下发生整体平移，从而使得前腔面、后腔面的反射光始终保持平行，从而提高了F-P腔MEMS波长可调滤波器的滤波效率和对选择光的利用率；本发明F-P腔MEMS波长可调滤波器体积小、能耗低、结构简单以及制作容易，可以广泛适用于光纤通信系统。