一种适用于轻敲模式原子力显微镜的谐波激励成像系统

摘要

本发明公开了一种适用于轻敲模式原子力显微镜的谐波激励成像系统，其是在传统的轻敲模式原子力显微镜中增加了函数发生器、低通滤波器和锁相放大器，函数发生器连接在AFM探针激励器的激励信号输入端上，锁相放大器连接在光电四象限接收器与AFM控制器之间，在函数发生器与锁相放大器之间串联有低通滤波器。本发明谐波激励成像系统是一种在轻敲模式下使用谐波的叠加信号作为激励源，使用锁相放大器得到探针运动的高次谐波分量，并使用这些高次谐波分量的振幅和相位来获得更多信息和更高分辨率的成像技术。