以扫描法布里珀罗共振器作为传感部分元件的光学压力传感器

摘要

测力传感器包括：主体15，感应元件27(用其相对主体的变位计算所加的力)和光检测组件1，8，该主体和元件组成短的法布里-珀罗共振器21，23。该组件包括宽谱光源和共振器的光强检测器8及光导3。扫描法布里-珀罗共振器41，49，51位于光源和检测器之间，其光程周期可控的检测器显示强度最小或最大值，而相角检测元件在来自扫描共振器的强度信号为最小或最大时检测，以确定与施加在感应元件上的外力成比例的感应共振器4的光程。