超薄六维力传感器及其测量三维力和三维力矩信息的方法

摘要

本发明公开了一种超薄六维力传感器及其测量三维力和三维力矩信息的方法，包括传力柱(1)外壁上连接有平行的上E型膜片，下E型膜片，上E型膜片上连接有上内环筒与上外环筒，构成上E型膜(4)，上外环筒上分布有安装螺孔作为加载环，上内环筒与上外环筒之间连接有间隔90°排布的薄矩形金属片；下E型膜片上连接有下内环筒与下外环筒，构成下E型膜(5)。传感器采用双E型膜片加四片薄矩形金属片为其力敏元件，在力敏元件上适当位置粘贴24片应变片，并将其组成六组惠斯通电桥实现对六维力的同时测量，同时获取各种具体的应用场合下的六维力信息。本发明维间耦合小、精度高、动态性能好，能自动消除温度的影响，应用于各种不同应用场合。