法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-08-25
授权
授权
2009-03-04
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-01-14
公开
公开
机译: III族氮化物衬底的制造方法,III族氮化物衬底,具有外延层的III族氮化物衬底,III族氮化物器件,具有外延层的III族氮化物衬底的制造方法以及III族氮化物器件的制造方法
机译: III族氮化物衬底的制造方法,III族氮化物衬底,具有外延层的III族氮化物衬底,具有外延层的III族氮化物衬底的制造方法以及III族氮化物器件的制造方法
机译: III族氮化物外延层与III族氮化物缓冲层的单级外延外延生长和单级横向外延生长