一种制造掺镓单晶硅太阳能电池的磷扩散方法

摘要

本发明公开了一种制造掺镓单晶硅太阳能电池的磷扩散方法，包括如下6个步骤：热处理、第一次磷扩散、第一次驱入处理、第二次磷扩散、第二次驱入处理、保温，从而完成掺镓单晶硅片的磷扩散处理。本发明的磷扩散方法降低了掺镓单晶硅片的表面复合，提高了其光电转换效率，降低了效率的衰减；实际应用证明，采用本发明的方法得到电池片与常规扩散处理得到的电池片相比，其光电转换效率可提高0.5％左右，具有显著的积极意义。