利用脉冲激光能量探测器探测脉冲激光能量的方法

摘要

本发明提供了一种脉冲激光能量探测器及其制作方法与应用，所述的脉冲激光能量探测器主要包括：光传感器，该光传感器包括一个利用ZnO/Si异质结材料制作的光传感器芯片、两个电极和两个输出端，其中所述光传感器芯片由ZnO膜层和Si基底构成，所述两个电极分别位于ZnO膜层和Si基底上，且两个电极分别连接两个输出端。本发明的脉冲激光能量探测器利用ZnO/Si异质结材料制作而成，单脉冲激光照射后直接产生双峰形状的电压信号，两峰位对应的时间之差与入射激光能量之间的函数关系明显，容易制作电子测量仪器，可以探测光能量。