光纤式光学外差法倏逝波腔衰荡光谱分析装置

摘要

本发明涉及一种光纤式光学外差法倏逝波腔衰荡光谱分析装置。现有技术结构复杂，对光学元件精度要求高，并且不能对薄膜、界面、纳米物质等进行测试。本发明的探测部件采用对称结构的柱体或半球体，内部形成光反射腔，外表面镀有高反射膜。探测部件光纤耦合准直器与探测部件位置配合。激光光源和分光镜光纤耦合准直器分别设置在分光镜的两侧。光电探测器与分光镜光纤耦合准直器设置在分光镜的工作面的同一侧面，并且设置在分光镜的反射光方向上。探测部件光纤耦合准直器与分光镜光纤耦合准直器通过光纤连接。本发明精细腔构成简单，只有一个光学元件，结构简单稳定，对机械定位要求低，并且光谱分析测量对象能够拓展到薄膜、界面、纳米物质、流体。