利用具有氨的超低压快速热退火调节氧氮化硅的氮分布曲线

摘要

一种形成包括氮的电介质薄膜的方法。该方法包括利用氮化气体和快速热退火处理将氮加入到电介质薄膜中，其中用于快速热退火处理的超低压等于或小于10Torr。