一种尺寸可控的金属和合金纳米粒子气相合成方法与装置

摘要

一种尺寸可控的金属和合金纳米粒子气相合成方法与装置，涉及一种纳米粒子的合成。提供一种尺寸可控的金属和合金纳米粒子气相合成方法与装置。装置设有纳米粒子形成室，用于生成金属或合金纳米粒子；前筛选室，用于形成纳米粒子束流，并对形成室形成的纳米粒子进行初步的尺寸筛选；后筛选室，用于对纳米粒子的粒径进行进一步的筛选；沉积室，用于收集合成的纳米粒子。气相合成方法可以通过改变Ar、He气体的流量和比例，得到不同尺寸的金属或合金纳米粒子，合成的纳米粒子在真空室中原位组装到基片上，有效避免了纳米粒子表面的氧化与污染。此方法具有不受材料熔点以及硬度的制约、工艺简单、产率高等优点，适合科学研究以及规模生产。