一种新型有机电致发光器件薄膜封装方法

摘要

本发明涉及平板显示装置中的封装技术，尤其是一种新型有机电致发光器件薄膜封装方法，其特点是，包括如下步骤：a、采用真空蒸发或磁控溅射的方法在金属阴极上制备一层厚度为400-600nm的氮化硅薄膜阻挡层；b、采用印刷、涂敷、或喷墨打印的方法在氮化硅薄膜沉积一层厚度为800-1200nm的聚甲基丙烯酸甲酯薄膜或聚酰亚胺薄膜，在40-65℃下真空干燥10-60分钟形成一层聚合物薄膜封装层；c、用N离子或Ar离子对聚合物薄膜封装层进行表面改性处理。本发明提出一种新型OEL器件薄膜封装技术，该技术特别对柔性OLED/PLED显示器件的寿命提高有显著的效果。