公开/公告号CN101249756B
专利类型发明专利
公开/公告日2010-08-11
原文格式PDF
申请/专利权人 精工爱普生株式会社;
申请/专利号CN200810007825.0
申请日2008-02-19
分类号
代理机构北京东方亿思知识产权代理有限责任公司;
代理人柳春雷
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:04:53
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-08-11
授权
授权
2008-10-22
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-08-27
公开
公开
机译: 流体引出部,流体容器,回注流体容器的密封结构和密封方法及其回填方法
机译: 用于流体容器的倾倒盖,其密封垫构造成形成流体流动通道,在打开位置具有低压密封,在关闭位置具有高压密封
机译: 通过化学气相沉积将流体引入处理室的装置,包括流体注射器,该流体注射器在一部分中包括主体,而在另一部分中包括形成密封件的可动件,其中主体和/或密封件具有由合成材料制成的表面