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制作用于光学鼠标的单模VCSEL的方法

摘要

本发明揭示一种面射型激光器,其具有一带有顶面及底面的衬底、一位于所述衬底顶面上的由折射率交替变化的镜面层构成的第一堆叠及一设置于所述第一堆叠上的有源层。所述面射型激光器还包括一设置于所述有源层上的由折射率交替变化的镜面层构成的第二堆叠及该第二堆叠的一直径减小的镜面延伸部分,所述直径减小的镜面延伸部分在所述第二堆叠的一与所述有源层相对的侧上形成所述面射型激光器的一从所述第二堆叠的一中心部分向外延伸的光学孔径。

著录项

  • 公开/公告号CN101132117B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2010-07-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 昂科公司;

    申请/专利号CN200610162003.0

  • 发明设计人 道格拉斯·柯林斯;李内宜;

    申请日2006-12-07

  • 分类号

  • 代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人王允方

  • 地址 美国新泽西州

  • 入库时间 2022-08-23 09:04:50

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-02-05

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01S 5/183 授权公告日:20100707 终止日期:20121207 申请日:20061207

    专利权的终止

  • 2010-07-07

    授权

    授权

  • 2008-04-23

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-02-27

    公开

    公开

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