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通过化学喷雾热解在基材上制备氧化锌纳米棒的方法

摘要

本发明公开了一种在350℃-600℃的适宜沉积温度下通过化学喷雾热解,在基材上制备纳米结构氧化锌层的方法。制备包含作为前体的氯化锌或醋酸锌的水溶液或含水醇溶液,并将其喷雾至预热的基材上,以使得前体反应,从而在基材上形成氧化锌层。还可向溶液中加入硫脲或脲。可使用玻璃、硅或覆盖有金属氧化物的玻璃作为基材。

著录项

  • 公开/公告号CN101203948B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2010-06-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 塔林科技大学;

    申请/专利号CN200680017046.8

  • 申请日2006-04-13

  • 分类号

  • 代理机构北京市柳沈律师事务所;

  • 代理人宋莉

  • 地址 爱沙尼亚塔林

  • 入库时间 2022-08-23 09:04:52

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-05-31

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/368 授权公告日:20100616 终止日期:20160413 申请日:20060413

    专利权的终止

  • 2010-06-16

    授权

    授权

  • 2008-08-13

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-06-18

    公开

    公开

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