公开/公告号CN101325311B
专利类型发明专利
公开/公告日2010-06-02
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN200710118937.9
申请日2007-06-15
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人汤保平
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2022-08-23 09:04:47
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-02
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01S5/10 授权公告日:20100602 终止日期:20190615 申请日:20070615
专利权的终止
2010-06-02
授权
授权
2010-06-02
授权
授权
2009-02-11
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-02-11
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-12-17
公开
公开
2008-12-17
公开
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