首页> 中国专利> 带输出波导的正方形微腔激光器

带输出波导的正方形微腔激光器

摘要

一种带输出波导的正方形微腔激光器,其特征在于,其中包括:一衬底,该衬底为一矩形;一谐振腔,该谐振腔为正方形,该谐振腔制作在衬底上;一条形输出波导,该条形输出波导制作在衬底上,并与谐振腔的一个侧面的中间相连接;其中该谐振腔和条形输出波导的面积小于衬底的面积。

著录项

  • 公开/公告号CN101325311B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2010-06-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;

    申请/专利号CN200710118937.9

  • 发明设计人 赵伟;黄永箴;

    申请日2007-06-15

  • 分类号

  • 代理机构中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人汤保平

  • 地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号

  • 入库时间 2022-08-23 09:04:47

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-06-02

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01S5/10 授权公告日:20100602 终止日期:20190615 申请日:20070615

    专利权的终止

  • 2010-06-02

    授权

    授权

  • 2010-06-02

    授权

    授权

  • 2009-02-11

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2009-02-11

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-12-17

    公开

    公开

  • 2008-12-17

    公开

    公开

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