具有作为电子源的场发射器的大面积指示电子束照射器

摘要

本发明提供一种电子束照射器，该电子束照射器能用场发射器尖端，在高电流密度下，在宽区域中执行电子束照射。该电子束照射器包括：具有在真空室的外周边纵向地形成的电子束照射窗口的真空室；在真空室内中心地和纵向地放置的阴极，并具有在阴极上形成的场发射器尖端，对应于电子束照射窗口；以及在真空室的一端放置的高压电源，用于朝向阴极施加高压。根据本发明，可以在宽区域中进行电子束照射，而不使用电磁体，以及用高电流密度，而不使用加热器如灯丝或附加电源，由此保证简化的结构以及减小的尺寸。