气体激光装置的启动方法以及气体激光装置

摘要

本发明提供一种即使在低温环境下启动激光振荡器时，也不需要特别的部件或复杂的系统，可以容易并且价廉地抑制高频电源的输出电流来启动激光振荡器的启动方法、以及具有这样的启动功能的气体激光装置。根据通常的气压控制，激光气体的气压从启动前的气压p1逐渐上升到p2，但在时刻t3 DC电流达到规定的阈值时，为了在时刻t3之后DC电流不超过阈值，进行激光气体气压的反馈控制。此时，对激光气体的气压进行控制，使其上升斜度变得平缓，并逐渐上升到与p2相比低一些的p2′。