法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-09-19
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/304 授权公告日:20100609 终止日期:20110717 申请日:20030717
专利权的终止
2010-06-09
授权
授权
2005-11-16
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-09-14
公开
公开
机译: 脆性材料的划线方法以及具有划线头和该划线头的划线装置
机译: 划线头以及使用该划线头的划线装置和划线方法
机译: 划线头以及使用该划线头的划线装置和划线方法