一种通过调节缺陷检查设备参数过滤芯片锥形缺陷的方法

摘要

一种通过调节缺陷检查设备参数过滤芯片锥形缺陷的方法，包括以下步骤：步骤A，在给定偏振组合的情况下，将扫描设备机器系统参数Lo的三个值调整到系统默认值和0之间；步骤B，扫描设备机台全芯片观测模式下，将选择不同区域并制图功能中的区域选定为逻辑区域，然后选用柱状图功能得到本区域三个接收器的散射动态接受强度分布图；步骤C，三个接收器的散射动态接受强度分布图上确定对应的三个峰形左面开始上升点在本分布图上横坐标的三个数值，就是Lo参数的三个值；和步骤D，使用步骤C中得到的三个Lo参数做为Lo参数值进行扫描。本发明既保证了空旷区域的锥形缺陷被成功过滤，也使得逻辑区域的杀手缺陷不会被漏检。