辐射热检测器、红外检测装置及制造该检测器的方法

摘要

该辐射热检测器包括：敏感部分，具有：一个或多个敏感材料层(6)，其电阻率随温度而变化；相互隔开的电极(5)，也作为红外辐射吸收器，所述电极与在其至少部分表面上的敏感材料接触；至少一个支持区域(3)，用于支持敏感部分，其定位所述敏感部分，并作为导电体，和与辐射热检测器相连的读取电路(1)进行连接；以及至少一个热绝缘结构，其电和机械连接每一个支持区域(3)至该敏感部分。没有接触到电极(5)的敏感材料区域，在垂直于包含辐射热检测器的敏感部分的平面方向上具有至少一个皱褶(9)。