快速反应合成式高温气氛炉以及合成陶瓷粉末的方法

摘要

本发明涉及快速反应合成式高温气氛炉以及合成陶瓷粉末的方法。由中间带有水冷中隔板的水冷法兰将一气氛炉分割为高温气氛炉和冷室炉，在高温气氛炉里有安装在炉床上的以保温材料及发热元件构成的卧式加热室，发热元件均匀分布在保温材料内壁的上、下面上，并通过导线与安装在高温气氛炉上的铜电极相连接；在卧式加热室朝向冷室炉一侧的壁上安装有隔热阀门，在其内安装有固定轨道；冷室炉内的可移动轨道与推杆机构的下推杆相连接，可移动轨道上放置有料舟，料舟与推杆机构的上推杆相连；在炉上均开有带有阀门的进气口，出气口，真空孔及安装有热电偶等。本发明不仅可以实现物料的快速加热及高温气氛合成，还能实现产物的快速冷却，使晶体生长均匀。