1550纳米波段的亚波长金属偏振分束光栅

摘要

一种用于1550纳米波段的亚波长金属偏振分束光栅，其特征在于该光栅的周期小于200纳米、槽深为230纳米-410纳米，光栅的占宽比为0.3。该偏振分束光栅只存在0级衍射，消光比大于20dB，TE偏振光的反射衍射率和TM偏振光的透射衍射率均高于96％。特别是光栅周期为150纳米、槽深为323纳米时，光栅透射衍射消光比与反射衍射消光比分别达到67dB和23dB，TE偏振光的反射衍射率和TM偏振光的透射衍射率分别达到96.47％和97.04％。本发明的亚波长金属偏振分束光栅由纳米压印、反应离子辅助刻蚀及物理溅射工艺加工而成，可大批量、低成本生产，制作的光栅偏振分束特性好，性能稳定可靠。