法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-28
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/44 授权公告日:20100623 终止日期:20170810 申请日:20070810
专利权的终止
2010-06-23
授权
授权
2010-06-23
授权
授权
2008-04-09
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-04-09
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-02-13
公开
公开
2008-02-13
公开
公开
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机译: 用于N 2气体的吹扫单元吹扫设置有过滤器单元和N 2气体吹扫呼吸过滤器单元的半导体晶片存储容器
机译: 用于控制排烟装置致动的气动安全控制装置,具有自动吹扫单元,该自动吹扫单元将装置中的气体部分地排到装置外部,并通过压缩气体从次级源的进入而被致动
机译: 为N 2 Sub>气体吹扫过滤器单元,以及为N 2 Sub>气体吹扫装置的吹气装置,该装置配有过滤器单元