氧化铟-氧化锡粉末和使用该粉末的溅射靶以及氧化铟-氧化锡粉末的制造方法

摘要

本发明提供能够延长靶的寿命、可以得到高密度的溅射靶的氧化铟-氧化锡粉末和使用该粉末的溅射靶及氧化铟-氧化锡粉末的制造方法。在氧化铟-氧化锡粉末中以In-Sn氧化物为主要成分，碳含量在50ppm以下。