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用于扫描磁力显微镜的探针及其制备方法和在碳纳米管上形成铁磁合金膜的方法

摘要

本发明提供一种用于扫描磁力显微镜的探针,它具有足够的分辨率而能够观察1200kFCI或更高记录密度的磁性储存介质;一种制备探针的方法,以及在碳纳米管上形成铁磁合金膜的方法。在本发明的内容中,用于扫描磁力显微镜的探针包含其表面至少部分涂覆有铁磁合金膜的碳纳米管,该铁磁合金膜由Co-Fe和Co-Ni合金中的任何一种组成,其中铁磁合金膜的表面算术平均粗糙度(Ra 10μm)控制在1.15nm或更小。还公开了一种制备该用于扫描磁力显微镜的探针的方法,和在碳纳米管上形成该铁磁合金膜的方法,从而通过控制铁磁合金膜的生成速率在1.0-2.5nm/min的范围内来达到该平均表面粗糙度。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-09-24

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G12B 21/10 变更前: 变更后: 申请日:20051227

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2010-05-05

    授权

    授权

  • 2008-01-09

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2006-07-12

    公开

    公开

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