在纳米级制造中改变衬底的尺寸的装置、系统和方法

摘要

改变由卡盘支撑的衬底的尺寸。用执行器部件将压缩力施加于衬底，并促进执行器部件相对于衬底的运动以使响应于压缩力生成的、由所述卡盘感测的反作用力最小化。