用于透皮给药的异平面金属空心微针制作方法

摘要

本发明涉及一种医用器械技术领域的用于透皮给药的异平面金属空心微针制作方法。本发明首先在氧化硅基片上旋涂光刻胶，经过曝光显影后露出二氧化硅窗口，刻蚀二氧化硅；其次，以二氧化硅为掩膜刻蚀硅形成倒四棱锥图形；接着溅射金属导电层，然后电镀金属层；再去除电镀的金属倒四棱锥底端，开出微流道；最后去除硅，得到异平面金属空心微针。与现有技术相比，本发明使异平面金属微针具有了微流道，而且制作工艺简单，成本低；微针容易刺入皮肤，实现了连续给药。