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感光性树脂组合物、使用该组合物的感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法及印刷电路板的制造方法以及光固化物的去除方法

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摘要

本发明提供感光性树脂组合物，其特征在于，含有在分子内具有两个或两个以上的乙烯性不饱和键的(A)光聚合性化合物、引发所述(A)光聚合性化合物的光聚合反应的(B)光聚合引发剂，进而所述(A)光聚合性化合物的分子内含有具有在130～250℃的温度条件下加热该(A)光聚合性化合物时会断裂的键的特性基团。

著录项

公开/公告号CN1842742B

专利类型发明专利
公开/公告日2010-05-12

原文格式PDF
申请/专利权人日立化成工业株式会社;
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申请/专利号CN200480024300.8
发明设计人宫坂昌宏;伊藤俊树;
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申请日2004-08-25
分类号
代理机构北京银龙知识产权代理有限公司;
代理人钟晶
地址日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:04:10

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-08-07

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F7/027 授权公告日:20100512 终止日期:20190825 申请日:20040825

专利权的终止
2010-05-12

授权

授权
2010-05-12

授权

授权
2006-12-06

实质审查的生效

实质审查的生效
2006-12-06

实质审查的生效

实质审查的生效
2006-10-04

公开

公开
2006-10-04

公开

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