压电陶瓷片驱动的扫描电镜中纳米材料拉伸装置

摘要

压电陶瓷片驱动的扫描电镜中纳米材料拉伸装置属于纳米材料原位测试领域。本发明包括底座(1)和带有两个凹槽的绝缘支撑座(2)，该两个凹槽分别固定两片金属片(3)一端，金属片两侧分别粘贴两片压电陶瓷片(4)，同时在每片金属片的另外一端分别固定两个样品台(5)，通过电极引线I(7)连接电源负极和电极引线II(8)连接正极，电极引线I(7)分别连接两片金属片(3)，电极引线II(8)分别连接4个压电陶瓷片(4)；两个样品台在同一水平面，之间的狭缝在2-50μm之间。该发明成本低，操作简便，可测量纳米材料在应力应变过程中的电荷输运特性，为纳米材料在微机电系统等领域提供可靠的数据。