测定含氟混气中碳酰氟和四氟化硅含量的装置及测定方法

摘要

本发明提供了一种测定含氟混气中碳酰氟和四氟化硅含量的装置，包括钢瓶、分析系统、过滤器、样品分离器、长光程气体池和红外光谱仪，样品分离器由两段内径不同的螺旋盘绕的哈氏合金钢管连接而成，内填充氟油‑ChromsorbT填料。还提供了测试方法:连接管路与仪器设置,分别将各含量的碳酰氟和四氟化硅标准气体通入后先在高分辨率进行四氟化硅光谱扫描，然后在低分辨率下碳酰氟光谱扫描，得到碳酰氟和四氟化硅标准气体的加合谱图，建立标准曲线；通入测定含氟混气待测样品，通过最小二乘法得到含氟混气待测样品的碳酰氟和四氟化硅的准确含量。本发明实现了对含氟混气中碳酰氟和四氟化硅的分离与检测，操作简单，快速准确，为含氟混气杂质分析提供了支持。