一种加工周期性纳米结构器件的方法

摘要

本发明公开了一种加工周期性纳米结构器件的方法。本发明所提供的加工周期性纳米结构器件的方法，包括如下步骤：1)准备并清洗所选用的衬底，在衬底上图形化出结构层；2)选择与所述结构层材料不同的另一种材料，在所述结构层的侧面进行侧墙沉积，各向异性刻蚀后在所述结构层的侧面形成一侧墙；3)以不同的材料重复步骤2)，经过多次沉积、刻蚀，在所述衬底上形成所述周期性纳米结构器件。基于本发明制作的周期性纳米栅、纳米“网格”、纳米柱等，可应用于光学器件、生物医学检测器件、传感器件、电子器件等领域。