一种测试力/电耦合场下金属薄膜疲劳寿命的方法

摘要

本发明公开了一种测试力/电耦合场下金属薄膜疲劳寿命的方法，将金属薄膜沉积在聚酰亚胺等柔性基板上，其目的在于这种柔性基板材料的选择能够可以实现循环应力的加载。在加载过程中，极其微小的拉伸载荷将使金属薄膜产生屈服，而柔性基底则仍处于弹性变形阶段，当卸载时，已经屈服的金属薄膜内部将产生压缩应力，从而实现金属薄膜的拉-压疲劳循环加载。金属薄膜上电载荷的施加方法由滚筒式接触装置实现。在金属薄膜上同时施加循环应力和电载荷后，利用恒载荷幅或载荷幅控制下金属薄膜位移幅的突变来表征金属薄膜疲劳损伤的形成，并给出其疲劳寿命。本发明可以人为地模拟实际工况下金属薄膜的多场耦合服役情况，实现了多场疲劳寿命测试。