高重频激光剥离-火花诱导击穿光谱元素分析系统及方法

摘要

本发明公开了一种高重复频率激光剥离‑火花诱导击穿光谱元素分析系统，包括激光器、聚焦透镜、样品台、发光二极管、高压脉冲电源、第一限流电阻、电容、第二限流电阻、放电电极、其中高压脉冲电源通过第一限流电阻与电容连接，电容通过第二限流电阻与放电电极连接，还包括光学收集系统、与光学收集系统连接的光谱仪、与光谱仪连接并将光信号转换为电信号的光电倍增管、数字存储示波器以及电子计算机，数字存储示波器与发光二极管和光电倍增管连接，电子计算机与光谱仪和数字存储示波器连接，对数字存储示波器的数据做数据分析并控制光谱仪的输出波长范围。该系统成像速度快、分析灵敏度高，能够实现对各种样品中元素的快速扫描成像和含量分析。