法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-07-21
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 22/00 授权公告日:20100106 终止日期:20160602 申请日:20070602
专利权的终止
2010-01-06
授权
授权
2010-01-06
授权
授权
2007-12-19
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-12-19
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-10-24
公开
公开
2007-10-24
公开
公开
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机译: 晶圆边缘位置的检测方法以及具有检测程序的计算机可读记录介质,用于执行检测方法以及晶圆边缘位置的检测器
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