端点检测装置和方法以及具有该装置的等离子体反应器

摘要

本发明提供一种端点检测装置、一种具有所述端点检测装置的等离子体反应器、以及一种端点检测方法。所述端点检测装置包括OES数据运算单元、数据选择器、乘积发生器、SVM、以及端点测定器。所述OES数据运算单元利用标准化及PCA来处理参考OES数据。所述数据选择器选择一部分所述多个线性参考负载向量并选择一部分经选定的所述多个线性参考负载向量。所述乘积发生器输出至少一参考乘积值。所述SVM作回归并输出预测乘积值。所述端点测定器检测加工晶圆蚀刻或沉积端点并输出检测信号。