一种基于精确理论解的声表面波滤波器的设计方法

摘要

本发明公开了一种基于精确理论解的声表面波滤波器的设计方法，包括：1)将温度场耦合到压电物理场中，得到多物理场耦合的数学模型；2)通过有限元技术对数学模型进行求解，获得单指结构的有限元模型；3)提取系统矩阵，并通过基于图形加速器加速的有限元分层级联技术，得到矩阵方程；4)电磁计算，获得电磁数据；5)将电磁数据和矩阵方程进行耦合，以得到频响特性；6)利用生物智能优化算法，根据目标函数进行优化搜索，计算并输出声表面波滤波器的优化数据。本发明耦合了温度场和电磁场的多物理场耦合模型，同时能够对设计出的声表面滤波器的性能参数进行进一步的优化设计，减小了设计出的声表面滤波器性能参数与产品之间的误差。