首页> 中国专利> 用于射束漂移补偿的设备和方法

用于射束漂移补偿的设备和方法

摘要

提供了用于维持准直光束的希望位置的设备和方法。光学系统包括可移动地安置在射束路径中的一个或多个无源光学元件。射束位置对无源光学元件中的至少一个的移动敏感。射束的实际位置被检测并和希望的射束位置比较。生成误差信号,并且作为对无源光学元件中的一个或多个的移动的响应,改变射束路径。在进一步的方面中,提供诸如衍射光学装置之类的射束整形光学装置,以整形传感的射束部分。在进一步的其他方面中,可以监视激光器的热状态,并且提供热映射图,以自动补偿由热状态引起的估计的射束漂移。

著录项

  • 公开/公告号CN100568074C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2009-12-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 日立比亚机械股份有限公司;

    申请/专利号CN200610059411.3

  • 申请日2006-03-02

  • 分类号G02F1/35(20060101);G01S17/00(20060101);G01C15/00(20060101);

  • 代理机构11219 中原信达知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人杨林森;谷惠敏

  • 地址 日本神奈川县

  • 入库时间 2022-08-23 09:03:36

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-04-13

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02F 1/35 授权公告日:20091209 终止日期:20150302 申请日:20060302

    专利权的终止

  • 2014-05-07

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G02F 1/35 变更前: 变更后: 申请日:20060302

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2009-12-09

    授权

    授权

  • 2008-02-13

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2006-10-04

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号