公开/公告号CN1032058C
专利类型发明授权
公开/公告日1996-06-19
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申请/专利权人 约翰逊马西有限公司;
申请/专利号CN92103903.4
发明设计人 P·T·毕晓普;
申请日1992-05-16
分类号C04B41/88;C04B41/51;C03C17/36;C08K5/37;
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人杨丽琴;谭明胜
地址 英国伦敦
入库时间 2022-08-23 08:55:14
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2007-07-18
专利权的终止未缴年费专利权终止
专利权的终止未缴年费专利权终止
2002-06-12
其他有关事项
其他有关事项
1996-06-19
授权
授权
1994-08-10
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
1992-12-09
公开
公开
机译: 形成金属膜的方法,使用相同的金属膜,形成金属膜的基质,形成金属图案的方法,使用相同的金属膜,形成金属图案的基质,以及用于形成聚合物前体层的涂布液组合物
机译: 金属膜形成方法,金属膜形成基质,金属膜,金属图案形成方法,金属图案形成基质,金属图案和聚合物层形成组合物
机译: 用于形成膜的组合物,抗蚀剂组合物,辐射敏感组合物,无定形膜制造方法,抗蚀剂图案形成方法,用于光刻,电路图案形成方法和用于光刻薄膜的底层薄膜的制造方法,用于形成光学构件的组合物, 用于形成膜,抗蚀剂树脂,辐射敏感树脂的树脂和用于形成光刻底层薄膜的树脂