真空泵的趋势监控和诊断分析方法及其趋势监控和诊断分析系统以及包括执行该方法的计算机程序的计算可读存储介质

摘要

开发本发明(例如主动诊断算法)不仅实现早期检测失去功率的真空泵以防止泵故障，而且提供它们的预测维持。根据本发明，能够在泵在交替的空闲操作条件和气体加载操作条件下运行的情况下，找出处理由逐泵操作特性的大变化和多工艺条件引起的技术问题的简单且有效的方式，具体地讲，在半导体制造工艺中。