微细圆柱群电极电化学腐蚀加工方法

摘要

本发明涉及一种微细圆柱群电极电化学腐蚀加工方法，属电解加工领域。该方法包括以下步骤：(1)采用电火花线切割或微铣削工艺制作带有多个单电极的群电极毛坯；(2)采用有限元法，设计、制作电化学腐蚀工具阴极；(3)群电极毛坯作为电化学腐蚀阳极，浸入电解液中，使得毛坯上各单柱体完全处于液面以下；将电化学腐蚀阴、阳极相向竖直平行放置；(4)通电，对群电极毛坯进行电化学腐蚀加工，采用恒压加工和电荷法分别控制群电极的形状和加工尺寸。本发明的方法具有加工设备和控制方式简单，加工效率、加工质量高，制造成本低的特点。