拉姆波式高频设备、拉姆波式高频设备的制造方法

摘要

本发明提供一种拉姆波式高频设备、拉姆波式高频设备的制造方法，该设备可提高结构强度、实现稳定的特性，该方法在制造步骤中不易破裂、可以提高成品率。拉姆波式高频设备(10)由在一个主面上形成有IDT电极(30)的压电基板(20)和接合在压电基板(20)的另一个主面上的加强基板(50)构成，在压电基板(20)和加强基板(50)的接合面上设有面积大于拉姆波的传输区域的空间(54)。并且，该拉姆波式高频设备(10)的制造方法包括：在加强基板(50)上形成相当于空间(54)的凹部(53)的步骤；在凹部(53)内形成牺牲层的步骤；在接合压电基板(20)的厚板和加强基板(50)之后，将压电基板(20)的厚板研磨为规定厚度的步骤；形成IDT电极(30)和反射器(41、42)的步骤；以及去除牺牲层以形成空间(54)的步骤。