一种差压、压力、温度同时测量用多参数传感器

摘要

本发明公开了一种差压、压力、温度同时测量用多参数传感器，其特点是，在一壳体内组合封装有检测差压信号的差动电容膜盒式差压传感器；检测静压力信号的压阻式静压力传感器及检测传感器本身及与之接触的介质温度的数字量输出的高精度集成测温芯片三种传感器用来检测差压、压力、温度多种参数。具有外形小巧精致、重量轻、易于用常规方法制造的特点。在此基础上制造的各种不同功能的变送器可广泛应用于化工、石油、冶金、电站等部门，用于测量液体、气体和蒸汽的压力、液位、差压、流量等热工基本参数，可具有多种补偿特性，具有很好的发展空间。