可调控接触时间的微型惯性电学开关

摘要

一种可调控接触时间的微型惯性电学开关，属于微机电系统技术领域。本发明中，带有悬臂梁阵列的质量块电极由质量块以及固定在其上的悬臂梁阵列构成，悬臂梁阵列位于多孔弹性梁固定电极下方，支撑层位于绝缘衬底上方、质量块下方，弹簧支撑座以及多孔弹性梁支撑座固定在绝缘衬底上、位于质量块周围，连体蛇形弹簧与质量块相连，并被弹簧支撑座悬空，多孔弹性梁固定电极被多孔弹性梁支撑座悬空、位于质量块上方、与悬臂梁阵列之间有间隙。本发明很好地改善了可动质量块电极与弹性梁固定电极间的接触效果，且可方便地调节微型惯性开关两电极间的接触时间，增进了带有连体蛇形弹簧质量块在外界加速度作用下运动的协调性。