TFT基板、具备TFT基板的扫描天线以及TFT基板的制造方法

摘要

TFT基板(105)具有电介质基板(1)和在电介质基板上排列的多个天线单位区域(U)，多个天线单位区域各自具有TFT(10)和连接到TFT的漏极电极(7D)的贴片电极(7PE)。TFT基板具有：源极金属层(7)，其支撑于电介质基板，包含TFT的源极电极(7S)、漏极电极、连接到源极电极的源极总线(SL)、以及贴片电极；栅极金属层(3)，其形成在源极金属层上，包含TFT的栅极电极(3G)和连接到栅极电极的栅极总线(GL)；栅极绝缘层(4)，其形成在源极金属层与栅极金属层之间；以及层间绝缘层(11)，其形成在栅极金属层上。