平行板电容驱动的MEMS弯曲扭转疲劳实验装置

摘要

本发明是一种平行板电容驱动的MEMS弯曲扭转疲劳实验装置，属于微纳米尺度材料特性基础研究领域。该装置通过两个平行板电容驱动器(3、12)分别实现对疲劳试样(5)的弯曲和扭转驱动。疲劳试样(5)一端与接地电极(4)连接，另一端与第三平行板电容驱动器(12)的上极板连接。试样(5)中部的与其垂直的横梁的一端与第一平行板电容驱动器(3)的上极板相连，另一端与平行板电容传感器的上级板相连，平行板电容传感器的下极板通过检测电极接外部振幅检测电路从而实时的获得试样的振动幅度。本发明采用两个平行板电容驱动器分别对试样进行弯曲和扭转驱动，并且互不影响，客服了现有装置只能模拟MEMS构件单相应力工作环境的不足。