机械共振器及使用了该机械共振器的滤波器、开关和电路

摘要

通过具有进行机械共振振动的振动体(1)和位于靠近振动体(1)的电极(2)，并且电极(2)的表面形状成为振动体(1)以共振模式变形时的形状地构成机械共振器，使每单位振动位移量的静电电容变化变大，由此可以实现高效地进行电→机械转换或机械→电转换的机械共振器。另外，使用该机械共振器，在高密度集成化的电路中可以实现小型且高性能的滤波电路或开关电路。