法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2003-01-15
专利权的终止未缴年费专利权终止
专利权的终止未缴年费专利权终止
2002-06-12
其他有关事项
其他有关事项
1999-04-07
授权
授权
1996-10-09
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
1994-06-01
公开
公开
机译: SiC晶片的制造方法,SiC半导体的制造方法以及石墨碳化硅复合基板
机译: SiC晶片的制造方法,SiC半导体的制造方法以及石墨碳化硅复合基板
机译: SiC晶片的制造方法,SiC半导体的制造方法以及石墨-碳化硅复合基质